Buch: Piezo-aktuierte mikro-opto-elektro-mechanische Systeme für aktive Mikrooptik
Piezo-aktuierte mikro-opto-elektro-mechanische Systeme für aktive Mikrooptik
Science for Systems, Band 29
Verena Zürbig
Hrsg.: Fraunhofer IAF
2017, 176 S., zahlr., meist farb. Abb. u. Tab., Softcover
Freiburg/Brsg., Univ., Diss., 2016
Fraunhofer Verlag
ISBN 978-3-8396-1132-6

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Inhalt
In den letzten Jahren steigt der Bedarf an kompakten aktiven mikrooptischen Systemen, welche die optischen Eigenschaften gezielt während des Betriebs anpassen können. Die vorliegende Dissertation befasst sich mit der Entwicklung und Herstellung neuartiger, verstimmbarer Mikrolinsen, welche eine symmetrische und asymmetrische Verformung der Linsenoberfläche und somit eine integrierte Fokus- und Wellenfrontkorrektur ermöglichen.

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